气浮隔振光学平台


蜂窝结构、充气隔振光学平台、连杆式
气浮隔振光学平台具有断电保护装置及防爆系统

气浮隔振光学平台

气浮隔振光学平台特点说明
  • 气浮隔振光学平台,蜂窝结构。
  • 气浮隔振光学平台内采用专利悬吊气体隔振系统,气体稳压装置有效隔离振动,防止底频振源产生。
  • 气浮隔振光学平台本体具有吸收,过滤周围的振动源,防止共振源产生。

    气浮隔振光学平台
    • 平台为三层夹心蜂窝状支撑结构,采用icr17优质高导磁不锈钢。
    • 隔振材料用精密型阻尼隔振和国际级阻尼隔振垫。
    • 专利设计水平隔振机构,隔振基础采用双层气浮隔离。
    • 各方向都提供优异的隔振性能,隔振系统本体振动频率低。
    • 高精密阻尼隔振光学平台,性价比高。
    • 可自动平衡、充气,反应时间短,平衡速度快。
    • 配套超静音空气压缩机气源,噪音低(小于65分贝)。
    • 隔振效果佳,固有频率最小为1Hz,性能优越。
    • 平面度不大于0.05mm/m2
    • 表面粗糙度小于0.8um。
    • 振幅不大于1.2um。
    • 重复定位精度+0.05mm。

    气浮隔振光学平台内部结构
    • 采用精密悬吊气浮双层隔振系统。
    • 360°精密三点式自动水平调整系统。
    • 针孔式稳压气体精密隔振系统。
    • 连杆内装断电保护装置及防爆系统。
    • 阻尼种类:氮气、空气(供给5~6bar)(80psi)
    • 方柱连杆式制成结构稳固。
    • 具有四个滚轮,能方便移动。


    【TK系列】尺寸与型号

    型号 W D T H
    TK-60*60 600 600 100.200 800
    TK-60*90 600 900 100.200 800
    TK-60*120 600 1200 100.200 800
    TK-90*90 900 900 100.200 800
    TK-90*120 900 1200 100.200 800
    TK-90*150 900 1500 100.200 800
    TK-90*180 900 1800 100.200 800
    TK-100*100 1000 1000 100.200 800
    TK-100*120 1000 1200 100.200 800
    TK-100*150 1000 1500 100.200 800
    TK-100*180 1000 1800 100.200 800
    TK-100*200 1000 2000 100.200 800
    TK-120*120 1200 1200 100.200 800
    TK-120*150 1200 1500 100.200 800
    TK-120*180 1200 1800 100.200 800
    TK-120*240 1200 2400 200.300 800
    TK-120*300 1200 3000 200.300 800
    TK-120*360 1200 3600 200.300 800
    ※ 接受各种尺寸定制单位:mm

    气浮隔振光学平台结构


    剖面图